半導體廢氣處理
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2022-07-28 16:15
半導體廢氣處理
一、半導廢氣處理成份
半導體職業廢氣主要成分為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類成分：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿類成分：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
二、職業排放規范
三、半導體廢氣處理方法
一般半導體職業針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預處理階段：采用噴淋塔先對廢進行預處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段：在此階段，比較常見而有用方法有：UV光解，生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。
